SC8551A017MS+88122404EFG551H401MO在本实施例中，固定架150、接收组件130及检测组件形成检测装置，该检测装置为法拉第筒传感器200。
在本实施例中，固定槽152的底壁上设置有多个散热槽156，散热槽156用于装载散热介质，以给接收组件130散热。
在本实施例中，当电子束在接收组件130上形成束斑后，电荷在接收组件130上移动会产生大量的热量，装载在散热槽156内的散热介质，在工作的过程中，散热介质在散热槽156内流动，带走接收组件130的热量，提高接收组件130的表面的散热效率。
在本实施例中多个散热槽156沿同一个方向延伸，即多个散热槽156平行设置，采用该种方式能够加快散热介质的流动速度，提高对接收组件130的散热效率。
在本实施例中，接收组件130包括固定件134及接收件136，接收件136设置在固定件134与固定槽152之间，固定件134用于将接收件136固定在固定槽152内，接收孔132设置在接收件136上，固定件134上开设有开口138，接收孔132及部分的接收件136与开口138对应设置。
在本实施例中，散热槽156周围环设有导流槽158，导流槽158可使散热介质在多个散热槽156之间流动，提高了散热效率。
在本实施例中，固定件134将接收件136固定在固定槽152内，接收孔132及接收孔132周围的接收件136从开口138中露出，使电子束能够穿过开口138在接收件136上形成多个束斑。
400425-110 220V
EFG551A017MS 220V
EFG552G417 220V
EF8210G094 220V
阿斯卡ASCO电磁阀YA2BA4522G00040
阿斯卡防爆电磁阀SCG551A017MS
阿斯卡气控阀HT8320G184MS
ASCO比例阀EF8551G401MO
阿斯卡电磁阀VCEFCP8531G301MO
ASCO除尘阀YA2BA4521G00000
ASCO脉冲阀JPIS8314B301
