电子束采集装置100还包括散热件190,散热件190设置在采集组件140处,偏转组件120还用于将电子束偏转至散热件190上,使散热件190给电子束散热。
在本实施例中,当在接收件136上扫描完成后,偏转组件120将电子束偏转至散热件190上,散热件190吸收电子束的能量,防止电子束长时间在接收件136表面停留导致过热出现损坏。
在本实施例中,散热件190用于装载散热介质,散热件190上设置有进水口192及出水口194,使散热介质能够循环流动,从而提高散热效率,保证整个装置可以长时间可靠运行。
在本实施例中,电子束采集装置100的扫描区域Zui大可达20mm×20mm,偏转扫描分辨率20μm~50μm,z轴升降分辨率为0.1mm,行程为0~50mm。
本实施例提供的电子束采集装置100的工作原理:发射组件110发送电子束后,偏转组件120偏转电子束,使电子束在接收组件130的接收孔132周围依次形成多个束斑,束斑穿过过渡孔148后在收集电极144上形成电流,放大器1462放大检测到的电阻电压后的电压值输出,通过该电压值分析该束斑的束流值。
本实施例提供的电子束采集装置100,在本实施例中,发射组件110发送电子束后,偏转组件120偏转电子束,使电子束在接收组件130的接收孔132周围依次形成多个束斑,采集组件140检测每个束斑穿过接收孔132后的电流,从而获取束斑的束流值。在本实施例中,电子束在偏转组件120的偏转下依次在接收组件130上形成多个束斑,采用逐个束斑检测的方式,逐个对束斑进行采样,能够提高束斑的采样精度。
以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
WT8511A1MS
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