8316G044 220/50 240/60 230/60, VALVE E290B047,VALVE请参阅图4，在本实施例中，在偏转组件120的偏转下，电子束按照顺序在接收件136上形成多个束斑，为了方便描述，在接收件136的表面建立相互垂直的第一方向x及第二方向y，在扫描的过程中，多个束斑的路径如图4所示，先在第一方向x上按照第一预设间隔的束斑间距，第二方向y上按照第二预设间隔的束斑间距进行逐点扫描。也就是说，偏转组件120先控制电子束在第一方向x上向右进行偏转，按照从左到右的顺序在第一行形成多个束斑，每个束斑之间的间距为第一预设间隔。当第一方向x上的束斑数量达到额定数量后，偏转组件120控制电子束在第二方向y上向下偏转第二预设间隔后在第二行形成一个束斑，偏转组件120控制电子束在第一方向x上向右偏转，按照从右到左的顺序在第二行形成多个束斑，当第二行的束斑数量达到额定数量后，偏转组件120控制电子束在第二方向y上向下偏转第二预设间隔后在第三行形成一个束斑，重复上述过程，在接收件136上形成多行束斑。
在本实施例中，多个束斑在接收件136上的轮廓大致呈矩形，尺寸大致为20mm×20mm。
在本实施例中，第一预设间距为50um，第二预设间距为50um。
在本实施例中，当电子束在形成每个束斑的过程中，每个束斑的停留时间为20us，并在第15us的时候采集组件140进行电流的采集，在第15us的时候进行采集电流，能够使束斑在稳定后再进行采集，能够提高采集到的电流的精准性。
在本实施例中，接收件136为钨铜合金板。
EF8025B224 DC24V
EF8025B224 DC24V
EFG552G401MO DC24V
EFG551H401MO DC24V
EFG551A001MS DC24V
SCG531B018MS 230V
SCG5B1A017MS 230V
SCG551A005MS 230V
SC8210G35 220V
HT8316G66 220V
52100004 220V
52100008 220V
SCE263B200 220V
400425-110 220V
EFG551A017MS 220V
