EF8210G101 AC220V/50HZ WSEMB327A112发射组件110用于发射电子束；
偏转组件120用于偏转电子束，使电子束在接收组件130的接收孔132周围依次形成多个束斑；
采集组件140用于检测束斑穿过接收孔132后的电流，以获得光斑的束流值。
在本实施例中，发射组件110发送电子束后，偏转组件120偏转电子束，使电子束在接收组件130的接收孔132周围依次形成多个束斑，采集组件140检测每个束斑穿过接收孔132后的电流，从而获取束斑的束流值。在本实施例中，电子束在偏转组件120的偏转下依次在接收组件130上形成多个束斑，采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。
请参阅图3，在本实施例中，电子束采集装置100还包括固定架150，固定架150上设置有固定槽152，接收组件130设置在固定槽152内，固定槽152上设置有连接孔154，接收孔132与连接孔154连通，采集组件140设置在连接孔154远离接收孔132的一侧。
在本实施例中，接收组件130设置在固定槽152内，连接孔154与接收孔132连通，电子束在接收组件130形成束斑后，束斑的电荷通过相互连通的连接孔154及接收孔132流至检测组件上，使检测组件检测该电流。
在本实施例中，接收组件130容置在固定槽152内，能够防止接收组件130直接安装在固定架150上，在外部元件的碰撞下出现损坏，从而提高了接收组件130的使用寿命。
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