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为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，不能理解为对本发明的限制。

若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。

第一实施例

请参阅图1，本实施例提供了一种电子束采集装置100，本实施例提供的电子束采集装置100主要用于采集电子束的电流，以检测电子束的束流值。本实施例提供的电子束采集装置100能够采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。

请参阅图1及图2，在本实施例中，电子束采集装置100包括：发射组件110、偏转组件120、接收组件130及采集组件140，偏转组件120设置在发射组件110与接收组件130之间，采集组件140设置在接收组件130远离偏转组件120的一侧，接收组件130上设置有接收孔132，采集组件140与接收孔132对应设置；

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