一种电子束采集装置，其能够采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。
本发明的实施例可以这样实现：
本发明实施例提供了一种电子束采集装置包括：发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，所述偏转组件设置在所述发射组件与所述接收组件之间，所述采集组件设置在所述接收组件远离所述偏转组件的一侧，所述接收组件上设置有接收孔，所述采集组件与所述接收孔对应设置；
所述发射组件用于发射电子束；
所述偏转组件用于偏转所述电子束，使所述电子束在所述接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；
所述采集组件用于检测所述束斑穿过所述接收孔后的电流，以获得所述束斑的束流值。
本发明的可选的实施例中，所述电子束采集装置还包括固定架，所述固定架上设置有固定槽，所述接收组件设置在所述固定槽内，所述固定槽上设置有连接孔，所述接收孔与所述连接孔连通，所述采集组件设置在所述连接孔远离所述接收孔的一侧。
本发明的可选的实施例中，所述固定槽的底壁上设置有多个散热槽，所述散热槽用于装载散热介质，以给所述接收组件散热。
本发明的可选的实施例中，所述接收组件包括固定件及接收件，所述接收件设置在所述固定件与所述固定槽之间，所述固定件用于将所述接收件固定在所述固定槽内，所述接收孔设置在所述接收件上，所述固定件上开设有开口，所述接收孔及部分的所述接收件与所述开口对应设置。
本发明的可选的实施例中，所述接收件为钨铜合金板。
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HB8316D15VMB
H78344G44
EFL8316G304
8210G56
S100
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430-04155
8344G072
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EF8320GOO3MS
8320G192
8320G184MS
SCG551A001MS 230/50-60, VALVE
WSEMET B320A202
EFG551H417 24VDC
8320G174
WBIS8314A300CSA
EF8344G370
35500349, G THREAD SUBBASE, 9 STATIONS, 52
EF8300D61U AC220V
238410-058-D
430-04155
KVP342
