ASCO阿斯卡电磁阀8320G174 HT8320G186 PA11B

一种电子束采集装置，其能够采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。

本发明的实施例可以这样实现：

本发明实施例提供了一种电子束采集装置包括：发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，所述偏转组件设置在所述发射组件与所述接收组件之间，所述采集组件设置在所述接收组件远离所述偏转组件的一侧，所述接收组件上设置有接收孔，所述采集组件与所述接收孔对应设置；

所述发射组件用于发射电子束；

所述偏转组件用于偏转所述电子束，使所述电子束在所述接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；

所述采集组件用于检测所述束斑穿过所述接收孔后的电流，以获得所述束斑的束流值。

本发明的可选的实施例中，所述电子束采集装置还包括固定架，所述固定架上设置有固定槽，所述接收组件设置在所述固定槽内，所述固定槽上设置有连接孔，所述接收孔与所述连接孔连通，所述采集组件设置在所述连接孔远离所述接收孔的一侧。

本发明的可选的实施例中，所述固定槽的底壁上设置有多个散热槽，所述散热槽用于装载散热介质，以给所述接收组件散热。

本发明的可选的实施例中，所述接收组件包括固定件及接收件，所述接收件设置在所述固定件与所述固定槽之间，所述固定件用于将所述接收件固定在所述固定槽内，所述接收孔设置在所述接收件上，所述固定件上开设有开口，所述接收孔及部分的所述接收件与所述开口对应设置。

本发明的可选的实施例中，所述接收件为钨铜合金板。

美国ASCO阿斯卡电磁阀型号大全

WT8551AOO1MMS DC24V

HB8316D15VMB

H78344G44

EFL8316G304

8210G56

S100

8320G174

HT8320G186

PA11B

19000006

8342G703

SCG353A047

430-04155

8344G072

8210G037

MP-C-080 272610-058-D AC220V

G551A002MS

EF8320GOO3MS

8320G192

8320G184MS

SCG551A001MS 230/50-60, VALVE

WSEMET B320A202

EFG551H417 24VDC

8320G174

WBIS8314A300CSA

EF8344G370

35500349, G THREAD SUBBASE, 9 STATIONS, 52

EF8300D61U AC220V

238410-058-D

430-04155

KVP342