所述采集组件包括绝缘部、收集电极及检测电路，所述绝缘部包覆于所述收集电极的外表面，所述绝缘部上设置有过渡孔，所述过渡孔与所述连接孔连通，所述检测电路与所述收集电极电连接；
所述收集电极用于汇流所述束斑穿过所述接收孔的所述电流；
所述检测电路用于将电流转换为电压后输出，以获得所述束斑的束流值。
SCG551A001MS 230/50-60, VALVE WSEMETB320A202本发明的可选的实施例中，所述采集组件还包括检测电路，所述检测电路包括放大器及检测电阻，所述检测电阻分别与所述放大器的正极输入端及所述放大器的负极输入端电连接，所述收集电极与所述正极输入端电连接。
本发明的可选的实施例中，所述检测电路还包括增益电阻，所述增益电阻与所述放大器的第一增益端及所述放大器的第二增益端电连接。
本发明的可选的实施例中，所述电子束采集装置还包括安装架、驱动件及连接架，所述连接架与所述安装架活动连接，所述采集组件及所述接收组件安装在所述连接架上，所述驱动件安装在所述安装架上与所述连接架传动连接，所述驱动件用于驱动所述连接架向靠近或远离所述偏转组件的方向运动。
本发明的可选的实施例中，所述电子束采集装置还包括散热件，所述散热件设置在所述采集组件处，所述偏转组件还用于将所述电子束偏转至所述散热件上，使所述散热件给所述电子束散热。
本发明实施例的有益效果：电子束采集装置包括发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，偏转组件设置在发射组件与接收组件之间，采集组件设置在接收组件远离偏转组件的一侧，接收组件上设置有接收孔，采集组件与接收孔对应设置；发射组件用于发射电子束；偏转组件用于偏转电子束，使电子束在接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；采集组件用于检测束斑穿过接收孔后的电流，以获得光斑的束流值。
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