通道自身的传输延迟时间tpdn、tpdm可以利用通道本身资源通过时域反射法进行直接测量，不需要依赖外部资源。通道偏差时间测量是本发明重点解决的问题。
本发明所提出的一种对集成电路测试系统进行时间参数校准的装置2结构总体如图所示，主要硬件组成包括：同步偏差时间测量装置201、通道切换装置202、测量适配器等203。同步偏差时间测量装置201通过测量被测通道和参考通道之间的信号时间间隔，来表征被测通道与参考通道之间的同步偏差时间。被测通道数量比较多，而测量装置上201的测量资源有限，需要将不同测试通道切换到测量装置201上。本发明采用的通道切换装置202以机械切换的方式实现不同测试通道之间的切换，由切换装置202夹持测试线缆和接口对接被测通道，确保每条通道测量过程中测量线路和测量装置保持唯一，此方法可以有效降低电子切换造成路径不一致所引入的测量误差，提高测量准确度。下面具体说明如何通过机械切换确保测量结果一致：
图4中标准参考通道ch11011通过校准适配板上的微带线转sma接口，由同轴线缆连接至同步偏差时间测量装置。被测通道(包括ch2、ch3...)通过测量适配器203上的过孔2033，由探针和同轴线缆连接至同步偏差时间测量装置203，所有被测通道除了过孔2033以外，探针和同轴线缆均为共用。可以看出，标准参考通道和被测通道各自的信号传输通路完全不同，至少包括以下几个方面会对数字通道同步偏差时间测量结果造成影响：
1、标准参考通道ch11011信号传输通路中微带线和被测通道信号传输通路中过孔2033的区别；
2、标准参考通道ch11011和被测通道信号传输通路中探针和同轴线缆的区别；
3、同步偏差时间测量装置本身两个测量接口之间的时间偏差。
为解决上述问题所造成的测量结果引入固有误差，本项目拟通过数学方法，消除所有影响因素。
按照图4中连接方案，以标准参考通道ch11011和被测通道ch21012作通道同步偏差时间测量，测得ch21012相对ch11011的偏差时间为t2，则：
t2＝x2-y2
式中：x2为真值，y2为信号传输通路不同引入的误差。
以标准参考通道ch11011和被测通道ch3作通道同步偏差时间测量，测得ch3相对ch11011的偏差时间为t3，则：
t3＝x3-y3，
式中：x3为真值，y3为信号传输通路不同引入的误差。
建立以下方程组：
方程组中：由于ch21012和ch3通道信号通路的唯一区别是其校准适配板上的小于3mm的过孔，其引入的误差相对较小(根据过3mm孔长度换算成信号传输时间大概在15ps左右)，y2≈y3。通过方程组可以计算出通道ch21012和通道ch3之间的通道同步偏差时间为：
t23＝t2-t3＝x2-x3
计算结果表明，通道ch21012和ch3之间的同步偏差时间测量结果消除了标准参考通道ch11011信号传输通路的影响，结果与标准参考通道ch11011无关。
RELECO C4-A40FX 220VDC
HYDAC CS1320-A-0-0-0-0/000
MOOG D820-2001
RENISHAW A-1371-0284
TECSIS P3961B086001 0~400bar G1/4
MOOG D661-4505C-G15KSAA4NSX2HA
SCHUNK PGN-plus 64-1 0371090
MOOG D661-4651G35JOAA6VSX2HA ITT Cannon Stecker 7 pol.20m
SARTORIUS PR6201/14C3
MTS RHM0360MP031S1G8100
BECKHOFF FC2001-6
MOOG D663Z4703B
MONTECH GPU-14（56245）
HEIDENHAIN DSLHEI721856-02
PMA NVBV-M253-11
WESTERMO L110-F2G (3643-0100)
HUBNER TDP0.2LT-4+OG9D300
BECKHOFF KL2612
BECKHOFF KL2022
WENGLOR LSE 46/44-S12 KN88PA3
ALFAMATIC MATRICOLA N :0606341 PRESSION MAX 6BAR
B+R 0G1000.00-090
kln ultraschall AG Code :986 83 032
