024248.516.000美国VALTEK过滤减压阀

特点及功效，兹列举以下实施例，并配合附图详细说明如下。

下面结合说明书附图来说明本发明的具体实施方式。

本发明是一种对集成电路测试系统进行时间参数校准的方法和装置，用于测量集成电路测试系统自身的系统误差，以提高测试系统在进行集成电路时间参数测量时的准确度。

测试系统在进行集成电路70时间参数测量时，需要使用测试通道101，特别是在进行翻转时间测量时，需要用到两个测试通道分别对输入701、输出管脚702进行时间差进行测量，两通道之间的时间同步偏差和通道本身和被测集成电路之间的第一传输线路1011、第二传输线路1012的传输延迟时间，是集成电路时间参数测量误差的Zui主要来源，如图1所示。

针对上述问题，本发明设计了一种集成电路测试系统时间参数校准方法，如图2所示。选取通道ch11011作为参考通道，分别测量出其它通道相对于参考通道的同步偏差时间和通道本身的传输延迟时间，形成如图3所示的各测试通道时间参数测量分布图。图3中横坐标为时间量，纵坐标为测试通道号。

举例说明，如图2所示以通道ch1作为参考通道，任一其它通道相对于通道ch11011偏差时间表示为坐标系中以传输延迟为中心的对称分布。如果选取通道chn提供驱动信号，通道chm作为测量信号通道，则依赖chn和chm所测得集成电路的时间参数系统误差tsyserr表示为：

tsyserr＝tdn+trm

tdn＝tpdn-δtn

trm＝tpdm+δtm

其中tsyserr为集成电路时间参数测量所引入的系统误差，为计算值；如图所示tdn为采用n通道驱动信号时n通道的信号驱动偏差601，为计算值；trm为采用m通道测量信号时m通道的信号测量偏差603，为计算值；tpdn为n通道的传输延迟时间602，为测量值；tpdm为m通道的传输延迟时间604，为测量值；δtn为n通道相对于参考通道的同步偏差时间605，为测量值；δtm为m通道相对于参考通道的同步偏差时间606，为测量值。

EAG GLG 100HB-720/548-(18)H  8409756
HEIDENHAIN DSLHEI746721-01
MTS RHM0400MP201S1G6100
VALTORC UM-300LDN222H00
TECSIS 3251.075.023 0-10bar 4-20MA DC10-30V
GUTEKUNST Z-052I
HEIDENHAIN 291698-06
HERION S6DH0019G020001500
SCHMERSAL BN 20-2rz-M16 120VA/W max.3A250VAC/DC(0，48A)
MTS EP00420MD341A01
DEUBLIN 1129-864-865
MWM 配套的制动器膜片
HYDAC EDS345-1-016-000
HYDAC 0030D010BH4HC
HYDAC VM 2 D.0/-L24
ARCA 827A.X4-A0H-M10-G
PROMINENT 1001648 0708-2/1008-2 PPE SPARE PART SET FORBT4B0708PPE3000UA0000
FT LA-5-C-MA-9
TR LMP30 NR:322-00305
MTS EPO0700MD341V01
SCHUNK 371399  PGN-PIUS-50-1-AS