第1线圈的至少局部设于ic芯片中的Zui上层的金属层。
(技术方案4)
可以是，ic芯片还具有第2线圈。
可以是，第2线圈的一端与第1线圈的另一端相连接。
可以是，第2线圈的另一端与第2焊盘相连接。
可以是，第1线圈的另一端经由第2线圈与第2焊盘相连接。
可以是，磁传感器芯片具有检测第2轴向的磁气的第2磁传感器。
(技术方案5)
可以是，第2外部输出端子为接地端子。
(技术方案6)
可以是，第2线圈的至少局部在ic芯片设于薄膜电阻值Zui低的金属层。
(技术方案7)
可以是，第2线圈的至少局部设于ic芯片中的Zui上层的金属层。
(技术方案8)
可以是，ic芯片还具有第3线圈、与第3线圈的一端相连接的第3焊盘以及与第3线圈的另一端相连接的第4焊盘。
可以是，磁传感器芯片具有检测第3轴向的磁气的第3磁传感器。
可以是，磁传感器模块具有第3外部输出端子。
可以是，磁传感器模块具有将第3焊盘和第3外部输出端子连接的第3导线。
可以是，磁传感器模块具有第4外部输出端子。
可以是，磁传感器模块具有将第4焊盘和第4外部输出端子连接的第4导线。
(技术方案9)
可以是，第4外部输出端子为接地端子。
(技术方案10)
可以是，第3线圈的至少局部在ic芯片设于薄膜电阻值Zui低的金属层。
(技术方案11)
可以是，第3线圈的至少局部在ic芯片设于比第1线圈和第2线圈靠下层的金属层。
(技术方案12)
油研YUKEN直动式溢流阀：
DT-01-22 DG-01-22 DG-02-H-22 DT-02-H-22
DG-02-B-22 DT-02-B-22 DG-02-C-22 DT-02-C-22
油研YUKEN先导式溢流阀：
BG-03-B-32 BT-03-B-32 BG-03-C-32 BT-03-C-32
BG-03-H-32 BT-03-H-32 BG-06-H-32 BT-06-H-32
BG-06-B-32 BT-06-B-32 BG-06-C-32 BT-06-C-32
BG-10-B-32 BT-10-B-32 BG-10-C-32 BT-10-C-32
BG-10-H-32 BT-10-H-32 S-BG-06-L-40
S-BG-03-R-40 S-BG-03-L-40 S-BG-06-R-40
油研YUKEN单向调速阀部分型号如下：
FG-02-30-30 FCG-02-30-30
FG-02-30-N-30 FCG-02-30-N-30
FG-03-125-30 FCG-03-125-30
FG-03-125-N-30 FCG-03-125-N-30
FCG-01-8-11 FCG-03-125-N-30
FG-06-250-30 FCG-06-250-30
FG-06-250-N-30 FCG-06-250-N-30
FG-10-500-30 FCG-10-500-30
FG-10-500-N-30 FCG-10-500-N-30
油研YUKEN节流阀部分型号如下：
SRG-03-H-41 SRG-03-L-41 SRT-03-H-41 SRT-03-L-41
SRCG-03-H-41 SRCG-03-L-41 SRCT-03-H-41 SRCT-03-L-41
SRG-06-H-41 SRG-06-L-41 SRT-06-H-41 SRT-06-L-41
SRCG-06-H-41 SRCG-06-L-41 SRCT-06-H-41 SRCT-06-L-41
SRG-10-H-41 SRG-10-L-41 SRT-10-H-41 SRT-10-L-41