地，所述温度控制机构包括感温线，加热机构、水冷机构和温度控制装置，所述加热机构安装于所述箱体内部并位于所述处理室远离所述机械式密封门的一侧，所述水冷机构安装于所述箱体内部并位于所述处理室两侧，所述感温线设置于所述处理室内，感温线用于监测处理室内温度，所述温度控制装置安装于所述箱体内并分别与所述感温线、所述加热机构和所述水冷机构电连接。 
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15.地，所述加热机构包括加热器、驱动电机和风轮，所述驱动电机安装于所述箱体内并位于所述处理室远离所述机械式密封门的一侧，所述风轮连接于所述驱动电机动力输出端，所述加热器安装于所述箱体内并与所述风轮配合设置，所述加热器和所述驱动电机分别与所述温度控制装置电连接。
16.地，所述水冷机构包括水冷管和循环水路，所述水冷管缠绕于所述处理室外侧，所述循环水路一端与所述水冷管连接，另一端与外部水源连接。