作为上述方案的改进，所述支撑板与所述薄膜单元的形状呈相似图形。
DCX-16, DCX-18 ECO, DCX-22, DCX-22AAPA-21SC/30BAR/80440作为上述方案的改进，所述支撑板与所述薄膜单元大小相等。
作为上述方案的改进，所述第一移动机构包括第一传动轴、第一同步带、第一导轨及第一驱动电机，所述第一同步带设于所述第一传动轴上，所述第一同步带上设有第一滑台，所述升降气缸与所述第一滑台固定连接，所述第一滑台的底端设于所述第一导轨上，所述第一传动轴与第一驱动电机连接以驱动所述第一滑台沿所述第一导轨滑动。
作为上述方案的改进，所述移载机构还包括第二移动机构，所述第二移动机构包括第二传动轴、第二同步带、第二导轨及第二驱动电机，所述第二同步带设于所述第二传动轴上，所述第二同步带上设有第二滑台，所述第二滑台的底端设于所述第二导轨上，所述第二滑台上设有用于抓取装载盘的夹爪，所述第二驱动电机与所述第二传动轴连接以驱动所述第二滑台及夹爪沿所述第二导轨滑动；
所述第二导轨相邻设于所述第一导轨的一端，其与所述第一导轨平行。
作为上述方案的改进，所述第一导轨及第二导轨相邻一端的下方设有与所述吸盘组件一一对应的第一储料架，所述第一储料架用于容置装载有薄膜的装载盘；
所述第二导轨下方还设有第二储料架，所述第二储料架用于容置空的装载盘。
德国JOYNER电磁阀MNOH310 701
德国JOYNER电磁阀MNH 310 711
德国JOYNER电磁阀MNH 311 701
德国JOYNER电磁阀MNK 310 701
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德国JOYNER机械阀BV 311 243
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