工控设备1756-DH485/A 通信模块A系列 全新原装质保一年
1.输入/输出单元
输入/输出单元通常也称I/O单元或I/O模块,是PLC与工业生产现场之间的连接部件。
PLC通过输入接口可以检测被控对象的各种数据,以这些数据作为PLC对被控制对象进行控制的依据;PLC又通过输出接口将处理结果送给被控制对象,以实现控制目的。
由于外部输入设备和输出设备所需的信号电平是多种多样的,而PLC内部CPU的处理的信息只能是标准电平,I/O接口要实现这种转换。
I/O接口一般都具有光电隔离和滤波功能,以提高PLC的抗干扰能力。I/O接口上通常还有状态指示,工作状况直观,便于维护。
PLC提供了多种操作电平和驱动能力的I/O接口,有各种各样功能的I/O接口供用户选用。I/O接口的主要类型有:数字量(开关量)输入、数字量(开关量)输出、模拟量输入、模拟量输出等。
常用的开关量输入接口按其使用的电源不同有三种类型:直流输入接口、交流输入接口和交/直流输入接口。
常用的开关量输出接口按输出开关器件不同有三种类型:是继电器输出、晶体管输出和双向晶闸管输出。
继电器输出接口可驱动交流或直流负载,但其响应时间长,动作频率低;而晶体管输出和双向晶闸管输出接口的响应速度快,动作频率高,但前者只能用于驱动直流负载,后者只能用于交流负载。
PLC的I/O接口所能接受的输入信号个数和输出信号个数称为PLC输入/输出(I/O)点数。I/O点数是选择PLC的重要依据之一。当系统的I/O点数不够时,可通过PLC的I/O扩展接口对系统进行扩展。
2.通信接口
PLC配有各种通信接口,这些通信接口一般都带有通信处理器。
PLC通过这些通信接口可与监视器、打印机、其它PLC、计算机等设备实现通信。
PLC与打印机连接,可将过程信息、系统参数等输出打印;与监视器连接,可将控制过程图像显示出来;与其它PLC连接,可组成多机系统或连成网络,实现更大规模控制。
与计算机连接,可组成多级分布式控制系统,实现控制与管理相结合。远程I/O系统也必须配备相应的通信接口模块。
3.智能接口模块
智能接口模块是一独立的计算机系统,它有自己的CPU、系统程序、存储器以及与PLC系统总线相连的接口。
它作为PLC系统的一个模块,通过总线与PLC相连,进行数据交换,并在PLC的协调管理下独立地进行工作。
PLC的智能接口模块种类很多,如:高速计数模块、闭环控制模块、运动控制模块、中断控制模块等。
刻蚀机作为芯片制造三大主设备之一,是我国打破垄断、寻求“芯”突破的拳头产品。刻蚀技术为硅片上做“微雕”,对设备的精密性、稳定性要求极高,其关键难点在于保证晶圆表面的刻蚀一致性,而这很大程度上取决于刻蚀气体的馈入方式。喷淋盘则是刻蚀机馈入刻蚀气体的主要部件。
一个直径近半米的喷淋盘上,均匀地分布着几千个细小的圆孔,反应气体正是通过这些小孔进入反应腔体,在射频作用下形成均匀分布的等离子体。为了保证化学气体均匀地进入反应腔体,喷淋盘表面每一个圆孔的直径、内壁都要经得起检验。
喷淋盘
如此超高精度及数量众多的孔径需要快速完成检测,没有硬核的技术方案,是万万不能的。海克斯康依靠自身过硬技术,开发出极具针对性的产品轻松应对该难题,确保客户产品高质量交付,以下为详细检测方案:
检测要求
喷淋盘几千个小孔(不同客户产品设计不同)直径、位置度、圆度等特征尺寸测量;
需要批量检测,要求测量重复性高,测量节拍快。
检测难点
喷淋盘表面小孔数量多达几千,软件需要处理几千个数据,对软件运算能力有较高要求;
程序编写难度大,步骤繁琐。
解决方案
配置OPTIV Advance 8.6.2+ METUS,满足平面几何尺寸快速测量;
自动变焦镜头提供足够的光学放大倍率,小孔细节轻松展示;
同轴光、轮廓光、6环8区表面环形光,多种光源配合,满足圆柱通孔,锥形孔上下端面圆检测要求;
METUS软件强大的运算能力保证编程、测量、数据输出过程不卡顿;
速度模式、报表输出与测量并行功能,助力测量效率提升50%;
导入DXF图纸编程,批量导入测量要素,编程简单高效;
报表摘要功能,结合二次编辑图片功能,快速定位、复测;
报告多样化,可输出Excel、CSV、TXT或按用户需求定制。
导入DXF图档,在模型窗口快速编程
CAD图形:直观显示小孔测量要素
OPTIVADVANCE 8.6.2
海克斯康凭借创新的软硬件技术,保证喷淋盘等大尺寸、大数据量的工件批量测量从理论走向实际,方案已成功应用到多家喷淋盘厂商,后续海克斯康将持续在半导体行业发力,为客户提供优质可靠的解决方案。